ADEV石英晶体振荡微量水分析仪针对半导体晶圆厂和高纯气领域露点测试方案|埃登威自动化系统设备(上海)北京赛车
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ADEV石英晶体振荡微量水分析仪针对半导体晶圆厂和高纯气领域露点测试方案


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意大利ADEV公司很高兴宣布推出自己的微量水分异动传感器QZ3202及QZ360系列高纯气体露点仪ppb级微量水分析仪。 QZ360是一款在线的微量水分传感器,专为半导体晶圆厂的高纯惰性气体而设计; 适合多点安装在气路进入制程工具前的zui末端。 QZ360安装的管网上,可以快速的(小于一分钟)侦测出在1 ppb 基准上低至20ppb 的湿度异动。ADEV石英晶体振荡微量水分析仪针对半导体晶圆厂和高纯气领域露点测试方案,    这款新的传感器是ADEV仪表针对晶圆工业在尺寸和规格方面zui新需求的相应。晶圆厂不断地在推动技术以达到在元件尺寸和封装上的要求。新的更大尺寸的晶圆具有更昂贵的单位价值,使得晶圆厂不断提高产出,减少由于污染而导致的残品率。当前规定大宗散装惰性气(N2,Ar)的潮气污染水平要小于10 ppb, 而趋势是要降低至1ppb以下。ADEV石英晶体振荡微量水分析仪针对半导体晶圆厂和高纯气领域露点测试方案


    为了同时保证达到高灵敏度和快速反应的要求,ADEV创造了一种独特的侦测算法,并辅以全新的适合高纯气的石英晶体振荡传感器设计。除此以外,QZ360ppb级微量水分析仪还可以满足半导体行业的特殊的包装要求,QZ360露点仪达到了材质和表面处理的zui高标准, 整个装配和包装都是在100 级的洁净室完成。在包装前,ADEV仪器公司还要在10-9 bar / 秒的条件下对QZ360露点仪进行密封性测试,以达到在两年内免维护和正常工作的设计要求。信号通过MODBUS输出,以LED交通灯的形式显示警告和报警状态。将来还将具有4-20mA输出。ADEV石英晶体振荡微量水分析仪针对半导体晶圆厂和高纯气领域露点测试方案


   通常,在大宗散装气体进入FAB前的zui末端,通过安装大型而复杂的仪器来监测湿度污染,存在着价格昂贵而且反应速度慢的问题, 而大宗气体的湿度污染是不常发生的; 与此相反,在FAB的内部,由许多的分管,节点,和使用点而构成的管网,即传统的湿度监测点的下游,潮气进入却是经常发生的,造成的原因可能是微小的泄漏,系统设计缺陷,元件损坏,或者流程上的失败。ADEV石英晶体振荡微量水分析仪针对半导体晶圆厂和高纯气领域露点测试方案,QZ360ppb级微量水分析仪的小巧尺寸和创新概念使得在多个使用点的安装成为可行,成为保护晶圆制造流程的一个投入少,见效快的手段


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