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半导体高纯气体测量ppb级微量水含量使用ADEV石英振荡露点仪


石英振荡技术由于其精度极高,所以被广泛的应用于半导体行业,电子气体的监测等等,工业级的很少用到这么高级别的,因为工业级的要求通常在1ppm以上。至于工业级测量水分的技术主要分为:


镜面法半导体高纯气体测量ppb级微量水含量使用ADEV石英振荡露点仪西门子U23分析仪
电阻法
电容法

电解法



上述几种中镜面法和电解法属于绝对测量法,被定为国标推荐方法。其他的电阻法和电容法由于测量时候不够准确,一般只作为定性判断使用。但是镜面法通常到1ppm时就已经到达极限,我经常看到有些产品会在自己的产品资料中写可以测量露点20到-120度,其实全是广告,他们的仪器能否溯源到NIST(美国国家标准局)?(ppb级微量水分析仪半导体高纯气体测量ppb级微量水含量使用ADEV石英振荡露点仪

石英振荡测量水分是一种全新的科技,它2001年商品化,4年前我接触到这个科技就一直坚信这种科技会取代很多其他测量水分的手段,但是它的成本一直比较高。



这种测量方法有几的系列的产品,其量程有很几个级别:
0.2ppb-5ppm 
0.4ppb-20ppm 

2ppb-20ppm 

20ppb-5000ppm半导体高纯气体测量ppb级微量水含量使用ADEV石英振荡露点仪



另外,这种原理现在除了能够测量微量H2O之外,现在还能测量微量O2,CH4,SiH4,HF,HCl和很多其他的微量气体杂质。


我希望更多的人能够了解它的原理,不光是因为个人的原因,还有就是我国现在的气体行业在高纯气体的水分测量这个领域是个空白,很多工程师还不知道如何去选定符合自己的仪器,往往还走过一段弯路,每次遇到这种客户的时候我们彼此总是有些遗憾,遗憾没有早点认识。另外就是每每听到我们客户对这种产品的肯定的时候会让我很开心,并且越来越自信。

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